VPC-1300
产品名称:VPC-1300Parylene镀膜设备
蒸发原料:parylene C/N/D/F
控制系统:西门子PLC控制系统
电 源:380V 五线 4平方以上电缆,正常功率2KW
设备尺寸:4000*1800*2200mm
腔体尺寸:Φ1300xH1500mm
腔体容积:1800 L
蒸发室温度:≥200°C
裂解室温度:<1200°C
真 空 计:日本爱发科,1-1000Mtorr
真 空 泵:抽速8L/S
冷 阱 : 最低冷凝温度低于-90℃
适用行业:适用于LED灯条、灯带、PCBA、马达转子等产品涂覆